有油真空泵依靠油完成密封、润滑与冷却，极限压力更低、购置成本更友好，但需要定期换油并防止返油污染。无油真空泵没有油污染风险、维护简单，适合食品、医疗、电子等洁净场景，但同级极限压力与能效通常不如有油泵。
如果工艺允许微量油汽、追求更低真空度，优先考虑有油旋片泵；如果洁净度是硬指标，则选无油泵或干式泵。
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